用語詳細一覧
- ISO 14644-1
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クリーンルームの清浄度を規定する世界標準の国際規格
- IQ/OQ/PQ
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設備が正しく設置され、設計通りに作動し、性能を維持できるかを検証するプロセス
- アイソレータ
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製品と作業員を物理的に隔離する装置。内部は専用フィルタで高度な清浄度が保たれる
- 圧力損失（圧損）
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フィルタを空気が通過する際の抵抗。目詰まりが進むとこの値が上がり交換指標となる
- EFEM
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製造装置の前面に設置される、ウェハ受け渡し用の局所クリーンユニット。高度なフィルタ管理が必要
- イエロールーム
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露光工程を行う部屋。感光を防ぐため特定波長をカットする照明とUVカットフィルタを用いる
- 陰圧病室
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室圧を低く保ち、内部のウイルスや菌を外に漏らさない構造の病室
- 院内感染対策
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病院内での感染拡大を防ぐこと。空調による気流制御とフィルタろ過が重要
- ULPA（ウルパ）フィルタ
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0.15μmの粒子に対して99.9995%以上の捕集効率を持つ超高性能フィルタ
- AMC
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パーティクルではなく、空気中に含まれる有害なガス状の汚染物質
- AMC (Airborne Molecular Contamination)
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パーティクルよりも微細な「ガス状」の分子汚染物質。酸・アルカリ・有機物などを指す
- エアシャワー
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入口で高速の清浄空気を吹き付け、衣服の塵埃を落とす装置
