用語詳細一覧
- パーティクル
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空気中に浮遊している微細な塵埃
- パーティクルカウンター
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空気中の粒子の数と大きさを測定する機器
- バイオクリーン手術室
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高性能フィルタによる層流を形成し、極めて高い無菌状態を維持する手術室
- バイパス
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フィルタの隙間から未処理の空気が漏れること。シール材の劣化等で発生
- HACCP
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食品の衛生管理手法。フィルタの差圧記録などはHACCPの管理項目に含まれる
- パスボックス
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物品の受け渡し専用の箱。人の出入りを抑え清浄度を維持する
- PTFEろ材
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ガラス繊維を使わずフッ素樹脂を用いたろ材。低発塵・耐薬品性に優れ、ボロンが発生しない
- FFU（ファン・フィルタ・ユニット）
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ファンとフィルタを一体化した、天井等に設置する送風ユニット
- VHP耐性
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除染に使われる過酸化水素ガスに対して、フィルタの部材が劣化・腐食しない性質
- 封じ込め (Containment)
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薬塵や微生物が外部へ漏れ出さないよう、気流や物理的バリアで制御すること
- 浮遊菌測定
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空気中に存在する細菌や真菌（カビ）の数を測定し、環境の清浄度を評価する
- プレフィルタ
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大きな塵埃（粗塵）を除去するために、高性能フィルタの前段に設置するフィルタ
- HEPA（ヘパ）フィルタ
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0.3μmの粒子に対して99.97%以上の粒子捕集効率を持つ高性能フィルタ
- ボロン汚染
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フィルタのガラス繊維に含まれるホウ素がガス化し、ウェハの電気特性に悪影響を与える現象
- ボロンフリー(ボロンレスフィルタ)
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主に半導体製造用のエアフィルタ（HEPA/ULPA）において、ホウ素（ボロン）を含有するホウ珪酸ガラス繊維を使わず、PTFE（フッ素樹脂）や石英ガラス繊維をろ材として使用した製品
