用語集Glossary

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用語詳細一覧

有機系汚染

建材等から出る揮発性有機物(VOC)による汚染。ウェハ表面への付着を防ぐためケミカルフィルタで除去する

陽圧（正圧）

室内の気圧を外気より高く保ち、外部からの汚染侵入を防ぐこと

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