用語集Glossary

用語詳細一覧

ISO 14644-1

クリーンルームの清浄度を規定する世界標準の国際規格

IQ/OQ/PQ

設備が正しく設置され、設計通りに作動し、性能を維持できるかを検証するプロセス

アイソレータ

製品と作業員を物理的に隔離する装置。内部は専用フィルタで高度な清浄度が保たれる

圧力損失（圧損）

フィルタを空気が通過する際の抵抗。目詰まりが進むとこの値が上がり交換指標となる

EFEM

製造装置の前面に設置される、ウェハ受け渡し用の局所クリーンユニット。高度なフィルタ管理が必要

イエロールーム

露光工程を行う部屋。感光を防ぐため特定波長をカットする照明とUVカットフィルタを用いる

陰圧病室

室圧を低く保ち、内部のウイルスや菌を外に漏らさない構造の病室

院内感染対策

病院内での感染拡大を防ぐこと。空調による気流制御とフィルタろ過が重要

ULPA（ウルパ）フィルタ

0.15μmの粒子に対して99.9995%以上の捕集効率を持つ超高性能フィルタ

AMC

パーティクルではなく、空気中に含まれる有害なガス状の汚染物質

AMC (Airborne Molecular Contamination)

パーティクルよりも微細な「ガス状」の分子汚染物質。酸・アルカリ・有機物などを指す

エアシャワー

入口で高速の清浄空気を吹き付け、衣服の塵埃を落とす装置

ガスケット

フィルタと枠体の間からの空気漏れを防ぐためのパッキン

完全性試験

フィルタの破損や漏れを現場で実証する試験。バリデーションにおいて必須の項目

グレードA〜D

医薬品製造区域の清浄度区分。Aが最も厳しく、無菌作業が行われる区域

ケミカルフィルタ

アンモニアや酸などのガス状汚染物質を除去するためのフィルタ

抗菌・防カビフィルタ

ろ材に薬剤を施し、フィルタ内での微生物の増殖を抑える特殊仕様

コンタミネーション（コンタミ）

対象物への異物混入や汚染のこと

差圧計（マノメーター）

フィルタの前後の圧力差を測定する計器。目詰まり監視に必須

JIS B 9908

日本におけるエアフィルタの性能試験方法を定めた規格

初期圧力損失 / 最終圧力損失

新品時の抵抗値と、寿命（交換時期）と判断する限界の抵抗値

清浄度（クラス）

空気の「きれいさ」の尺度。単位体積あたりの粒子数で定義される

セパレータ / ノンセパレータ

ろ材の間隔を保つための仕切りの有無。薄型化にはノンセパレータが主流

層流（一方向流）

空気が乱れることなく一方向に流れる状態。塵埃の排出に適す

耐熱フィルタ

乾燥炉などの高温環境で使用可能な特殊仕様のフィルタ

パーティクル

空気中に浮遊している微細な塵埃

パーティクルカウンター

空気中の粒子の数と大きさを測定する機器

バイオクリーン手術室

高性能フィルタによる層流を形成し、極めて高い無菌状態を維持する手術室

バイパス

フィルタの隙間から未処理の空気が漏れること。シール材の劣化等で発生

HACCP

食品の衛生管理手法。フィルタの差圧記録などはHACCPの管理項目に含まれる

パスボックス

物品の受け渡し専用の箱。人の出入りを抑え清浄度を維持する

PTFEろ材

ガラス繊維を使わずフッ素樹脂を用いたろ材。低発塵・耐薬品性に優れ、ボロンが発生しない

FFU（ファン・フィルタ・ユニット）

ファンとフィルタを一体化した、天井等に設置する送風ユニット

VHP耐性

除染に使われる過酸化水素ガスに対して、フィルタの部材が劣化・腐食しない性質

封じ込め (Containment)

薬塵や微生物が外部へ漏れ出さないよう、気流や物理的バリアで制御すること

浮遊菌測定

空気中に存在する細菌や真菌（カビ）の数を測定し、環境の清浄度を評価する

プレフィルタ

大きな塵埃（粗塵）を除去するために、高性能フィルタの前段に設置するフィルタ

HEPA（ヘパ）フィルタ

0.3μmの粒子に対して99.97%以上の粒子捕集効率を持つ高性能フィルタ

ボロン汚染

フィルタのガラス繊維に含まれるホウ素がガス化し、ウェハの電気特性に悪影響を与える現象

ボロンフリー(ボロンレスフィルタ)

主に半導体製造用のエアフィルタ（HEPA/ULPA）において、ホウ素（ボロン）を含有するホウ珪酸ガラス繊維を使わず、PTFE（フッ素樹脂）や石英ガラス繊維をろ材として使用した製品

有機系汚染

建材等から出る揮発性有機物(VOC)による汚染。ウェハ表面への付着を防ぐためケミカルフィルタで除去する

陽圧（正圧）

室内の気圧を外気より高く保ち、外部からの汚染侵入を防ぐこと

ライフサイクルコスト

フィルタの購入から交換、電気代までを含めた総費用

リークテスト

フィルタや取付枠から空気が漏れていないかを確認する試験

粒子捕集効率

フィルタが特定の大きさの粒子をどれだけ捕らえられるかを示す割合（%）

ろ材（フィルタメディア）

実際にゴミをキャッチする素材。グラスファイバーや不織布、PTFEなど