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ULPAフィルタ

標準ULPAフィルタ　アトモスATMMLフィルタ

0.1μmの対象粒子を粒子捕集率99.9995%（5N5）以上捕集するULPAフィルタ

0.1μmの対象粒子を粒子捕集率99.9995%（5N5）以上捕集するULPAフィルタ。軽量で取付、交換作業が容易です。

  • メーカー日本無機(株)
  • 型番ATMML

利用場所

  • 電子工場

推奨される領域

標準仕様

形式説明

奥行 50,65,75,98 縦 150~1220 横 150~1500

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