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ULPAフィルタ

標準形ULPAフィルタ　アトモスミクロフィルタ

有機物とボロンの発生を抑えた低発ガスULPAフィルタ

アトモスミクロフィルタは、粒子径0.1μmの微粒子を99.9995%捕集する性能を持っています。高い粒子捕集率にもかかわらず、圧力損失は低く、ろ過面積が大きいので、粉塵保持量が大きく寿命が長くなっています。

奥行 75,150,290 縦 150~760 横 150~1500

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